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有机清洗机

具备IPA Dry、Spin Dry选择; 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

RCA清洗设备

具备IPA Dry、Spin Dry选择 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

炉管清洗设备(Tube Cleaner -立式)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2700×2200×2900mm (根据不同清洗规格而定)

炉管清洗设备(Tube Cleaner -卧式)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2600×2900 (包含排风阀,本体2710mm)×3500mm (包含机械臂罩,本体2720mm)

炉管清洗设备(EPI Cleaner )

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=3600×1900×2900mm(根据不同清洗规格而定)

Semi-auto FOUP Cleaner

外形尺寸:L*W*H(单位mm)==2100x1500x2700mm(可分体进场,最低进入高度为2300mm)

Auto FOUP Cleaner

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=3900x3700x3200mm(进厂搬运组件最大宽度1600mm)

化学供应系统(CDS、DSP、DINH3)

设备构成:由本体、输送系统、排液系统、混液系统、电气控制系统等部分组成

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